為確保氦氣檢漏儀的性能，需要每年一次定期維護(hù)，下面給大家?guī)?lái)氣密性檢測(cè)儀維護(hù)校準(zhǔn)規(guī)范，一起來(lái)了解下吧。

泵油更迭

    橡膠O形圈，校準(zhǔn)漏孔、皮拉尼傳感器、閥塊、測(cè)試端口適配器、離子源、背襯管、入口及預(yù)泵入口，都需要及時(shí)替換。多模式設(shè)備監(jiān)測(cè)，在參考泄漏下，檢漏儀的性能需在各種模式下接受?chē)?yán)格審視，確保儀器精準(zhǔn)無(wú)誤。

系統(tǒng)密封性校準(zhǔn)

    檢漏儀內(nèi)部系統(tǒng)密封性測(cè)試、系統(tǒng)校準(zhǔn)、真空測(cè)試及量油尺性能檢查調(diào)整。承包商依據(jù)制造商計(jì)劃執(zhí)行維護(hù)，泵油更換、過(guò)濾器清潔與替換、密封件更換。

壓力檢查指示

    承包商通過(guò)儀器檢查設(shè)備產(chǎn)生的控制壓力，并在適當(dāng)時(shí)輸入指示器。參比泄漏反應(yīng)，執(zhí)行者通過(guò)儀器檢查對(duì)參比泄漏的反應(yīng)，確保儀器對(duì)細(xì)微變化亦能敏銳感知。

    對(duì)成品氦氣檢漏儀進(jìn)行測(cè)試，并配置軟件以匹配參考泄漏的記錄。對(duì)公司的真空設(shè)備狀況進(jìn)行定期監(jiān)測(cè)，保持所需的真空水平并控制真空系統(tǒng)參數(shù)，清潔內(nèi)部系統(tǒng)，去除可能導(dǎo)致錯(cuò)誤和降低測(cè)量精度的污染物和堆積物。