在氣體泄漏檢測領(lǐng)域,膨脹標(biāo)準(zhǔn)泄漏和氣體室泄漏的原理基本相似,但區(qū)別在于膨脹泄漏需要外部氣源并調(diào)節(jié)至特定壓力。在使用膨脹泄漏技術(shù)時,必須嚴(yán)格遵循操作規(guī)程,確保氣源連接處的氣體純度,并首先清除連接處的空氣。
當(dāng)客戶訂購定制的膨脹泄漏時,必須提供以下信息:
1.氣體類型,如純氦(He100%)、氮?dú)浠旌蠚猓?%H2+95%N2)、純氫(100%H2)、氮?dú)?、SF6或其他氣體。
2.氣源壓力;
3.泄漏率的校準(zhǔn)要求;
4.輸入和輸出連接器的類型;
5.其他要求,例如是否需要閥門、壓力表或多次泄漏率校準(zhǔn)。
氫標(biāo)準(zhǔn)泄漏主要用于校準(zhǔn)氫氣泄漏檢測器、質(zhì)譜儀或殘余氣體分析儀。使用(5%H2+95%N2)作為密封氣體,氫氣泄漏檢測具有高安全性、快速檢測速度和準(zhǔn)確性,并且能夠檢測到極微小的泄漏。與氦氣檢測相比,氫氣檢測器的運(yùn)行成本更低,導(dǎo)致應(yīng)用范圍不斷擴(kuò)大。最小檢測精度可達(dá)5x10^-7mbar·L/sec,相當(dāng)于每年0.1克的R134A制冷劑。
為了制造多點校準(zhǔn)泄漏口,首先需要確定最大泄漏率和相應(yīng)的壓力。例如,如果使用兩個5點數(shù)值級別(單位:mbar·L/sec)如(5E-4,1E-4,5E-5,1E-5,6E-5)來校準(zhǔn)泄漏率,可以創(chuàng)建一個在300PSIG壓力下泄漏率為5E-4的泄漏口,并提供泄漏率校準(zhǔn)點的壓力。
使用微通道技術(shù),泄漏率(E-1至E-6單位:mbar·L/sec)與壓力變化成正比。例如,如果5E-4對應(yīng)300PSIG,那么5E-6接近30PSIG(基于最終校準(zhǔn)證書值)。與其他泄漏制造技術(shù)相比,微通道技術(shù)的優(yōu)勢在于蝕刻更均勻,多點校準(zhǔn)泄漏口的壓力更容易調(diào)整。
氫氣泄漏檢測器通常使用(5%H2+95%N2)作為密封氣體,但氫氣檢測器只對H2有反應(yīng)。因此,用于校準(zhǔn)氫氣泄漏檢測器的標(biāo)準(zhǔn)泄漏可能是氮?dú)浠旌蠚猓?%H2+95%N2)或純氫(100%H2)。由于這兩種泄漏類型的氫氣泄漏率相同,氮?dú)湫孤┑目傂孤┞适羌儦湫孤┑?0倍。