在氣體管道施工中，由于多種施工因素，管道連接處可能出現(xiàn)肉眼難以察覺(jué)的小孔，這在使用過(guò)程中可能導(dǎo)致泄漏問(wèn)題。在微電子領(lǐng)域，如半導(dǎo)體和電子集成電路生產(chǎn)中，氣體管道輸送的超高純度電子氣體泄漏可能嚴(yán)重影響生產(chǎn)安全，因此泄漏檢測(cè)至關(guān)重要。

    泄漏檢測(cè)法是檢測(cè)高純度氣體管道泄漏的有效手段。其工作原理是在管道內(nèi)部形成真空，然后在外部噴射氦氣。氦氣若通過(guò)泄漏點(diǎn)進(jìn)入管道內(nèi)部，測(cè)試儀將檢測(cè)到氦氣的存在，表明管道存在泄漏。由于氦氣分子極小，能夠滲透微小開(kāi)口，該方法特別適用于檢測(cè)微小泄漏。

    具體檢測(cè)步驟如下：

    1.確保系統(tǒng)內(nèi)所有閥門和壓力調(diào)節(jié)閥完全打開(kāi)。

    2.確認(rèn)系統(tǒng)壓力為零，若系統(tǒng)處于正壓，需先排空氣體。

    3.緩慢開(kāi)啟泄漏試驗(yàn)機(jī)入口，開(kāi)始抽真空，直至達(dá)到可測(cè)試狀態(tài)。

    4.記錄試驗(yàn)機(jī)背景氦泄漏率，只有當(dāng)該值低于1×10^-9mbar.l/s時(shí)，才可進(jìn)行下一步。

    5.從最近的焊縫或連接點(diǎn)開(kāi)始，用噴槍噴射氦氣，讓其在該點(diǎn)停留一段時(shí)間，然后移至下一點(diǎn)，直至檢查完畢。

    6.若檢測(cè)到檢測(cè)儀指示器升高，等待其穩(wěn)定后，再次檢查以確認(rèn)泄漏。若非焊縫或連接點(diǎn)泄漏，逆向檢查前一點(diǎn)直至找到泄漏源。

    7.檢查所有連接點(diǎn)后，繼續(xù)觀察檢測(cè)儀數(shù)約10分鐘，確認(rèn)系統(tǒng)與檢測(cè)儀分離前無(wú)異常。

    8.若所有連接點(diǎn)的氦泄漏率均低于1x10^-9mbar.l/s，則系統(tǒng)泄漏率合格。測(cè)試人員應(yīng)將測(cè)試結(jié)果記錄在測(cè)試報(bào)告中。

    在高純度氣體管道測(cè)試過(guò)程中，必須確保測(cè)試環(huán)境清潔穩(wěn)定，避免外部因素干擾測(cè)試結(jié)果。此外，定期校準(zhǔn)和維護(hù)檢測(cè)儀對(duì)于保證測(cè)試的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性至關(guān)重要。